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新研發消靜電抗高溫ESD-DLC鍍膜 日勝推動晶圓製造業再升級

By 廖苡安2023/02/06
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我們都有冷不防被靜電電到的經驗,但可曾想過這個瞬間電流的強度也可能讓我們手上的精密儀器受損?一層薄薄的ESD-DLC鍍膜,就能化解這個危險。


一層超薄、抗靜電又耐高溫的類鑽碳膜層鍍膜,就能減少精密儀器製作過程中產品耗損,提升耐用度。

臺灣3C科技領航全球,隨著晶片微型化,封裝、晶圓、模具等半導體元件對於抗靜電功能及需求與日俱增,傳統材料因無法使靜電消散,或慣用技術鍍膜膜層不耐高溫、不耐化學腐蝕、機械特性不佳,影響產品使用壽命等問題愈受重視,亟待日新月異的新技術與新材料來解決。

擁有專業PVD鍍膜兩廠區的日勝企業,自2020年開始著手於規劃研發具有靜電消散功能的產品,經歷兩年設備導入以及產品測試,已於2022年正式推出全新靜電消散類鑽碳膜層鍍膜技術(ESD-DLC),取代傳統的鐵氟龍鍍膜與硬陽鍍膜,不僅可提供均勻穩定且可調控的薄膜電性,還同步提升靜電消散能力,和耐磨、耐高溫、耐腐蝕的特性,更能提高先進封測製程良率及生產效率。

日勝企業製程開發負責人甘偉廷經理表示,日勝企業所研發推出厚度僅有3~7μm的ESD-DLC膜層,表面電阻值在106~108Ω,製做溫度低於200℃,可防止鍍製時因受熱產生型變,鍍製完成的ESD-DLC膜層能耐受高達600℃的高?,其特殊膜層的結構設計以及非晶結構,可提升附著力、硬度、良率與使用壽命,降低產品在生產的過程中因靜電而導致的破壞,解決製程汙染度高、產品無法又退鍍循環使用的材料虛耗等問題,保障企業獲利。

除了從鍍膜製程到產品檢驗一條龍服務,日勝企業還有專業研發的技術團隊協助客戶調整各項參數需求。

日勝企業工廠內提供9台PVD真空鍍膜設備及1條水電鍍生產線,生產能力卓越,配套多項的檢驗設備,高組計、X-ray膜厚機、耐磨擦測試機、鹽霧測試機等專業檢驗能力,更有在業界較少見的獨立研發技術團隊提供即時服務,落實關鍵技術自主化。在眾多科技廠遇到特殊防護材料造價昂貴的難題時,專業研發團隊透過製程優化,生產表面均勻度佳、品質穩定性高、且具有競爭力價格的產品,專為晶圓製造業、封裝業、面板業等科技產業提供抗靜電塗層(ESD-DLC COATING)的服務與技術。

▲經過ESD-DLC表面處理過的封裝載具及乘載CASE,可降低晶片移動時因為靜電造成的不良率。

日勝企業致力發展封裝載具表面處理的專業領域,廠內設置最完整的水電鍍設備與PVD濺鍍真空設備,可處理封裝載板、晶圓鏟、各式後段製程乘載CASE等,為提供客戶品檢嚴格把關。透過日勝企業的研發與生產技術,推進使先進封裝領域蓬勃發展,也期藉由團隊協力,使臺灣的科技技術發展再次大跨越,在國際上有更多新突破與新市場。

更多先進鍍膜資訊,詳見日勝企業股份有限公司官網:http://www.rsplating.com.tw/

日勝企業日勝鍍膜ESD-DLC靜電消散類鑽碳膜層耐磨耐高溫耐腐蝕良率晶圓晶片
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