Canon 慶祝日本首台半導體曝光機PPC-1上市50周年

Canon 於 1970 年成功生產了日本首台半導體曝光機「PPC-1」[1]，因此今年可說是 Canon 正式跨足半導體曝光機領域的50周年。半導體晶片從智慧手機到汽車等多領域被廣泛應用，半導體曝光機在器件的製程中可說是不可或缺。隨著數位技術迅速發展的同時，Canon 的半導體曝光機也不斷升級。▲首台日本生產之半導體曝光機「PPC-1」Canon 曝光機的歷史始於對相機鏡頭技術的高度應用。奠基於 20 世紀 60 年代中期在相機鏡頭開發所累積的光學技術，Canon 研發出用於光罩製造的高解析度鏡頭。此後，為了進一步擴大業務範圍，Canon 針對晶圓的積體電路製造，開始半導體曝光機的研發，並於